<source id="rf9jg"></source>

    <i id="rf9jg"></i>

      <i id="rf9jg"><del id="rf9jg"></del></i>

      <small id="rf9jg"><tfoot id="rf9jg"><em id="rf9jg"></em></tfoot></small>
      首   頁             關(guān)于我們             新聞動態(tài)             產(chǎn)品中心            資料下載             聯(lián)系我們
         產(chǎn)品搜索
         產(chǎn)品分類
      石油分析儀器
      煤炭分析儀器
      材料測試儀器
      光譜分析儀器
      色譜分析儀器
      生物分析儀器
      通用分析儀器
      環(huán)境監(jiān)測儀器
      氣體發(fā)生器
         品牌產(chǎn)品
         客戶留言
      姓名:
      電話:
      單位:
      留言:
         
      ?當(dāng)前位置:首頁->> 產(chǎn)品中心->> 環(huán)境監(jiān)測儀器->> 空氣污染監(jiān)測
      ORION3100型潔凈室氣態(tài)分子污染物監(jiān)測儀
      產(chǎn)地:意大利ETG
      簡介:
      ●適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)
      ●實時超靈敏監(jiān)測氨,HCI,HF含量
      ●快速高精度測量
      ●不會使用到任何的放射物質(zhì);
      ●多點分析,最大通道數(shù)可達(dá)16通道
      ●便攜
      ●無需校準(zhǔn)
      深紫外(DUV)光刻工藝已經(jīng)被證明對許多種分子級別空氣污染物特別敏感,氨氣和酸性氣體會在整個生產(chǎn)區(qū)域產(chǎn)生問題??棺贤獠牧稀㈤L壽命過濾器的使用并沒有減少對周圍環(huán)境空氣監(jiān)測的需求,事實上,
      環(huán)境空氣分子污染物的監(jiān)測顯得越來越重要。ORION 3100系統(tǒng)的測量原理基于CEAS(腔體增強(qiáng)吸收光譜)技術(shù),有效延長空氣過濾器的使用壽命和減少故障出現(xiàn)次數(shù)。通過ETG HMI(人機(jī)交互界面)軟件,操作者可以實時對位于不同測量點的多臺氨,HCI,HF分析儀進(jìn)行控制。這個軟件專門為半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)計,主要用于深紫外光刻工藝環(huán)境空氣監(jiān)測。該軟件也可用于其它工業(yè)或?qū)嶒炇椰F(xiàn)場監(jiān)測,但是需要用到一臺或多臺CEAS分析儀實現(xiàn)多點采樣。該軟件建立在Windows操作系統(tǒng)之上,采用交互控制報警,具有數(shù)據(jù)采集,歷史數(shù)據(jù)趨勢記錄和基本測量等功能。
      環(huán)境空氣中的污染物監(jiān)測對于半導(dǎo)體生產(chǎn)過程起到越來越重要的作用。對于整個半導(dǎo)體行業(yè)來說,也提出了快速探測,快速發(fā)出警報,極低的探測極限,大的采樣區(qū)域,同時對多種氣體實現(xiàn)靈敏探測等要求。對于DUV光刻工藝來說,由于氨,胺類,NMP和酸類物質(zhì)會與化學(xué)增幅抗蝕劑發(fā)生反應(yīng),不利于光刻進(jìn)程的進(jìn)行,因此能否對這些組分進(jìn)行有效的監(jiān)測對于整個光刻工藝起到至關(guān)重要的作用。
      傳統(tǒng)方法例如撞擊濾塵器,離子色譜,化學(xué)熒光法,分析速度太慢,操作過程太復(fù)雜,昂貴并且測量結(jié)果不精確。ETG采用CEAS技術(shù),能夠快速探測得到氨,HCI,HF,SO2,VOC's含量,采用脈沖熒光法探測SO2,采用增強(qiáng)GC-FID探測VOC含量,是目前市場上最強(qiáng)大的半導(dǎo)體環(huán)境污染物監(jiān)測設(shè)備之一。
      ORION 3100是一款多點監(jiān)測系統(tǒng),能夠按順序?qū)怏w送入到分析儀或傳感器,完成濃度測量。ORION 3100可以輸出來自4-6臺分析儀或傳感器的數(shù)據(jù),使用以太網(wǎng),網(wǎng)絡(luò)傳輸協(xié)議,RS485/RS232或4-20mA模擬模塊。每一個分析儀內(nèi)置有一個電腦(Linux OS),支持將數(shù)據(jù)存儲和數(shù)據(jù)輸出,另外還支持遠(yuǎn)程網(wǎng)絡(luò)控制。
      CEAS原理:
      原理基于近紅外領(lǐng)域高靈敏度吸收測量CEAS。測量單元包括一個兩端采用高反射率鏡片密封的圓柱管。激光束經(jīng)過固態(tài)校準(zhǔn)器(FSR=2.00GHz)時會測量得到相對激光波長。為了保證清晰度,原本傳播到測量單元外的光束會經(jīng)過左側(cè)的腔鏡,被省略了。
      CEAS技術(shù)相比于第一代CRDS技術(shù)(光腔衰蕩光譜)有很多優(yōu)勢。簡單來說,由于激光光束共振耦合到測量單
      元(對于光束是否對齊沒有要求)。
      ORION 3100主要特色:
      ●實時ppb水平測量
      ●采用CEAS技術(shù)
      ●整個運行過程持續(xù)進(jìn)行,無需操作者照看,可以在惡劣有危險的環(huán)境中使用
      ●整個操作過程不會使用到溶劑,放射性物質(zhì),紙帶,吸附劑以及其他安規(guī)的耗材等
      ●長時間穩(wěn)定性;
      ●采用固態(tài)電子元件,組件不發(fā)生移動
      ●為了保證更長的運行時間,儀器幾乎免維護(hù);
      ●每一臺監(jiān)測儀在出廠時你都會進(jìn)行校準(zhǔn);
      ●可用于單組份或多組分測量;
      ●多點采樣,最多可達(dá)16通道;
      ●成程序化警報和故障繼電器;
      ●可程序化采樣順序;
      ●開放式通訊協(xié)議,更容易嵌入到已經(jīng)存在的系統(tǒng)中;
      ●發(fā)生電源中斷或者出現(xiàn)關(guān)機(jī)將不會發(fā)生數(shù)據(jù)損失;
      ●觸摸屏圖形顯示操作更簡單直觀;
      ●連接1/4"OD;
      ●管道:PFA,PVDF;
      ●單通道管線最大長度:80m;
      ●PC色彩VGA觸摸顯示屏,支持圖形顯示;
      ●可以采用遠(yuǎn)程控制軟件實現(xiàn)遠(yuǎn)程可視化;
      ●信號輸出:RS232,以太網(wǎng),可選:4-20mA,網(wǎng)絡(luò)通訊協(xié)議;

       


       

      下一頁:StripSpin12型微型離心機(jī)
      上一頁:μVOC-CAM型潔凈室氣態(tài)分子污染物監(jiān)測儀
      ?

      金恒祥首頁關(guān)于我們新聞動態(tài)產(chǎn)品中心招賢納士聯(lián)系我們

      版權(quán)所有©北京金恒祥儀器有限公司      京ICP備12044127號-1

        <source id="rf9jg"></source>

        <i id="rf9jg"></i>

          <i id="rf9jg"><del id="rf9jg"></del></i>

          <small id="rf9jg"><tfoot id="rf9jg"><em id="rf9jg"></em></tfoot></small>
          欧美夜夜爽 | 国产精品久久777777毛茸茸 | 淫骚嫩亚 | 欧美五区 | 一道本一区二区三区久久久久久久 | 亚洲视频,中文字幕 | 丰满的已婚女邻居hd | 韩国hd高清xxxx视频 | 一道本一区二区免费在线观看 | 扯下内裤粗大挤进去好涨 |