•全自動(dòng)在線質(zhì)量監(jiān)控系統(tǒng)
• 探測(cè)VOC含量
• 對(duì)污染物進(jìn)行定性和形態(tài)分析
• 探測(cè)水平可達(dá)ppb以下
• 集成PC，支持?jǐn)?shù)據(jù)處理
• 有機(jī)化合物探測(cè)水平可達(dá)ppb水平
• 采樣點(diǎn)可多達(dá)16個(gè)
氣態(tài)分子污染物（AMC）是高科技制造行業(yè)非常關(guān)心的一個(gè)問(wèn)題，特別是微電子行業(yè)。有機(jī)污染物會(huì)對(duì)生產(chǎn)工具產(chǎn)生不利的影響，最終導(dǎo)致額外的花費(fèi)。
無(wú)污染的生產(chǎn)環(huán)境不只是空想，是可以付諸實(shí)踐的，但是需要對(duì)原材料和制造進(jìn)程中的空氣過(guò)濾裝置進(jìn)行嚴(yán)格的控制。永久的空氣分子污染物監(jiān)測(cè)可以幫助穩(wěn)定生產(chǎn)，增加過(guò)濾裝置的使用壽命。
通過(guò)μVOC-CAM監(jiān)測(cè)儀，用戶(hù)可以長(zhǎng)時(shí)間在線監(jiān)測(cè)氣態(tài)分子污染物的含量，而不需要像使用采樣器那樣只在某一個(gè)時(shí)間點(diǎn)進(jìn)行測(cè)量。測(cè)量精度水平可達(dá)ppb水平以下。
探測(cè)精度水平持續(xù)保持在ppb以下：
丁酮，三甲基硅烷，丙酮，乙醇，異丙醇，環(huán)己烷，乳酸乙酯，正己烷，乙苯，丁醇，醋酸乙酯，二甲苯，苯乙烯，苯，甲苯，六甲基二硅烷，丙二醇甲醚醋酸酯及其他組分。
運(yùn)行原理：
長(zhǎng)久以來(lái)，氣象色譜就是測(cè)量和分離復(fù)雜分子化合物的主要選擇。氣象色譜法取決于樣品的蒸發(fā)性以及色譜柱對(duì)不同組分的吸收能力。
組分被色譜柱洗脫后，由火焰離子檢測(cè)器（FID）對(duì)其電導(dǎo)性進(jìn)行監(jiān)測(cè)，從而得到組分的含量。獨(dú)特的吹掃和采樣系統(tǒng)使探測(cè)水平可達(dá)ppb以下水平。
規(guī)格參數(shù)：
測(cè)量原理：火焰電離氣相色譜法
尺寸（H×W×D）：160cmx60cmx80cm
外殼：NEMA 12或IP54有不銹鋼
操作溫度：10℃~ 35℃
通訊：RS-232, 以太網(wǎng), ODBC
氣體要求：CDA 5 l/min H2 130 sccm(也可選擇 H2發(fā)生器）
采樣通道：多達(dá)16通道
分辨率：0.1 ppb
探測(cè)組分：可多達(dá)30種，用戶(hù)自定義
測(cè)量范圍：0-200 ppb
石油分析儀器
